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閥板—三工位氦檢系統(tǒng)

來源:原創(chuàng) 瀏覽:89 發(fā)布日期:2023-02-03

閥板—三工位氦檢系統(tǒng)

工件內(nèi)充入設(shè)定壓力的氦氣作為試漏介質(zhì),用真空箱法對工件進(jìn)行氦質(zhì)譜測漏,檢測結(jié)束氦氣要回收,用于循環(huán)使用

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